英特尔再次抛售ASML股票 EUV光刻工艺量产仍未可期

由于联电及Globalfoundries先后退出先进工艺研发行列，现在有能力研发、投资10nm以下工艺的就剩下台积电、三星和英特尔了，其中台积电今年已经量产了7nm，三星的要晚一些，但三星直接上马了EUV工艺，明年就是EUV工艺量产的开始了。说到EUV工艺，2012年英特尔、三星、台积电为了支持ASML公司研发EUV光刻机，纷纷投资ASML给他们送钱，不过这几年来三家都减持了ASML的股票，英特尔现在再次减持ASML股份，比例降至3%以内。对英特尔来说，他们曾是最坚定支持EUV发展的，但现在却是量产EUV工艺最慢的一家。

2012年7月份英特尔宣布向ASML公司投资33亿欧元（当时约合41亿美元）以助其开发EUV光刻工艺及18英寸晶圆，第一期目标为Intel投资5.53亿欧元（6.8亿美元）协助ASML开发18英寸晶圆制造工具，同时Intel将以17亿欧元（21亿美元）的代价收购ASML公司大约10%的盘前交易已发行股票，最终持股比例达到了15%。

随后三星、台积电也分别投资了ASML公司，三星投资10亿美元获得约3%的股份，台积电花钱买入了约5%的股份，合作方式跟英特尔差不多，一部分是现金支持，一部分是购买股票。

这三家投资ASML最初的目标不是赚钱，而是当时ASML开发EUV工艺陷入了困境，资金匮乏，不帮助一把的话EUV开发可能就没后续了，对英特尔、台积电、三星也没什么好处，毕竟EUV开发上ASML是独一份，而且这个过程确实艰难，英特尔从1997年就参与EUV研究了。

随着EUV光刻机走向正轨，这三家公司在这几年来也不断减持ASML股票，而这次的投资也是赚大了，当年购买ASML股份时股票价格不过40欧元左右，这几年ASML股票一路上涨，现在已经是149欧元了。

在减持上，台积电、三星行动时间比较早，英特尔去年6月份的时候还持有10%的ASML股票，去年底首次减持到5%以内，日前英特尔又一次减持了ASML的股票，持股比例降至3%以内。

英特尔减持ASML股票是投资行为，这个没必要过多解读，但在EUV工艺上英特尔确实是起个大早赶个晚集。当年业界普遍认为英特尔会是第一个应用EUV工艺的，那时候英特尔的半导体工艺遥遥领先台积电、三星，但现在情况不同了，英特尔对上马EUV工艺一点也不热心，远不如台积电、三星。

今年Q2季度中，ASML公司出货了4台EVU光刻机，比预期的多了一台，手中的订单量是7台，Q2季度新增一台EUV光刻机订单，预计全年出货EUV光刻机超过20台，2019年预计出货超过30台，只不过这些订单绝大多数都是三星、台积电购买的。

在这两家之外，Globalfoundries购买了一台EUV光刻机，但现在他们退出7nm工艺了，正在寻求转售或者退货这台光刻机。中国的中芯国际也订购了一台EUV光刻机，预计明年交付，主要用于7nm工艺研究。

英特尔买没买EUV光刻机或者买了多少光刻机还是个谜，即便有买，数量也不多，只限于技术研究，因为英特尔短时间内不可能应用EUV工艺，至少也要等到2021年底，也就是英特尔自家的7nm节点。