对标行业巨头 至纯科技获得中芯国际、万国半导体6台清洗设备订单

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近日，至纯科技迎来了浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券等20多家投资机构调研。至纯科技表示，2018上半年，公司在半导体和光伏行业合计的销售收入占比超过了 88. 3% 。其中，半导体行业的收入占比高达到了69. 4%，成为公司的核心业务。

文｜Lee

校对｜尔目

图源｜网络

集微网消息，近日，至纯科技迎来了浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券等20多家投资机构调研。至纯科技表示，2018上半年，公司在半导体和光伏行业合计的销售收入占比超过了 88. 3% 。其中，半导体行业的收入占比高达到了69. 4%，成为公司的核心业务。

目前，至纯科技的湿法槽式清洗设备已获得 6 台的量产订单，客户是中芯国际和万国半导体，这次的六台设备都是槽式设备，主要是适用于半导体厂商8寸线。至纯科技表示，9 月下旬可交付２台，乐观估计今年四季度或明年一季度确认收入。公司正在开拓单片清洗设备的客户需求。

以下是至纯科技与投资者的具体问答：

1、一般晶圆厂对清洗设备的需求量是多大？

从清洗设备的配备量来看，目前以 4 万片产能的产线为例，一般情况下， 8 寸线匹配 50 台设备，12 寸线国内匹配 70 台设备左右，包括槽式和单片，国外有的厂商能够达到 120 台清洗设备水平。在一个 Fab 厂清洗机需要 2 个亿美金。随着下游对良率要求高，会大量采用单片式，但是单片式清洗效率低，单片式清洗设备根据腔体数量不同，清洗效率也不同，一个腔体一次只能清洗一片。未来随着良率越来越高，单片式需求会越来越大。我们公司通常根据客户具体要求来提供清洗机。

2、清洗设备目前价格大概多少？

市面上最便宜的单片清洗设备是两个腔体的 50-60 万美金，而 6-8个腔体的单片式清洗设备的价值大概 300-400 万美金。槽式价格 100-200 万美金市场价格。

3、目前国内的清洗设备跟国外的差距体现在哪些方面？

国外单片式清洗设备已经发展到 12 个、 16 个腔体了，腔体多对应的附属设备的介质供应也多，需要满足智能化、软件控制、压力均等和清洗后的存放等需求。设备选择还是更看重 良率和技术更新。

湿法清洗设备种类很多，从种类和功能上国产设备目前实现的只有其中的 10%，公司产线达产以后希望做 30%以上的 品类，未来我们希望湿法清洗机台的国产化率可以达到 85%，进口替代能够大大增加国内厂商的竞争实力， 避免国外厂商的价格垄断。

清洗设备在晶圆制造过程中反复使用，每道工艺都要清洗，是必备工艺，也会有具体的细分，14nm 是我们目前正在做的。公司的设计、制造实力是可以覆盖较多种类，但是未来也是步步为营，不可能一蹴而就。我们非常看重客户需求，未来会跟动客户需求逐步扩张我们的产品线。

4、看到公司开始湿法清洗领域不久，可以介绍一下我们相关部门的人员、 制造基地情况吗？

公司湿法事业部于去年底成立，目前有人员 近 40 人，槽式清洗设备目前是在日本制造， 将来会放在启东， 新厂乐观估计十月份部分交付使用，明年下半年产能有望开始释放，但达产仍需过程，最主要的制约因素是高端人才的培训需要比较长的周期。公司在去年年报提出 的目 标是未来五年内实现清洗设备累积销售 200 台。目前第一期设计产能是年产 48 台。未来湿法事业部的团队规模有望达到 300-400 人。

5、 请介绍一下启东基地的情况？

启东基地占地 100 亩，规划两期 。产能贡献主要在系统集成和湿法制造。产能释放后，高纯系统集成方面的产能是目前的 4-5倍，清洗设备一期预计产能达 48台。今后，启 东作为公司的生产基地，上海是总部和研发中心，有 mini lab 可以做研发测试用。

6、公司湿法清洗设备的技术来源于哪里？

槽式清洗设备主要是 引进日本团队进行研发、设计、生产，近20人，团队人员均有国际大厂相关经验，不存在 IP 问题；单片式清洗设备是与一家韩国公司 MUJIN 合作，他是海力士专属供应商，与公司合作 ，开拓中国市场，双方均贡献技术并共享 IP，合作共赢。

7、 请预测一下公司明年清洗设备的订单及未来的行业需求？

根据公司的产能情况和产业链调研，我们认为明年的新增订单规模可能在 20 台的水平。订单规模主要受制于产能的影响 ，虽然产线的设计产能初期是 48 台，但从人员和设备调试等因素综合考虑，产能短时间迅速释放仍 有一定的压力 。从公司与下游客户的沟通结果来看 ，2019-2021 是设备的高峰期，2018-2019 是建厂高峰期，整体行业正进入清洁设备采购期。一般设备运行的寿命差不多 3-4 年，由于清洗介质有强腐蚀性，使用一定时间后，初期是换零部件，后期 3-4 年会产生更换设备的需求。从良率和价格的角度来看，技术的升级也会带来更新需求。公司的目 标是五年实现 200 台订单。

8、公司对清洗设备的销售模式如何？ 并请介绍一下产品定价情况。

我们注重跟动并满足客户需求。国外厂商通常定制性柔性的比较少。中兴事件以后，国内开始重视国产设备，现在高纯工艺领域同档次产品的价格会是进口 设备的 90%-95%，差距不会太大。清洗设备还是有区别的，国外大品牌的毛利都 50%左右，我们目前研发支出较高，待形成规模后才能提高毛利率。另外设备、人员的投入也较多。

9、 请谈一下公司未来在半导体清洗设备领域的战略布局 ？

公司的目标很明确，我们就是做进口替代，对标的是国际半导体设备巨头 Lam Research 和 DNS，未来战略是不断丰富公司的产 品品类，先做高端的清洗设备，再逐步向下覆盖到多种品类，单片清洗设备的订单有望会在今年实现。清洗设备部分，公司很早就有接洽和布局，这次获得数台订单也是多年积淀的结果。公司计划从零配件到整机，从高端产品到全产品覆盖， 逐步实现国产化。

10 、目前公司高纯工艺系统集成服务的下游客户情况如何？

目前高纯工艺系统集成领域，业内的趋势是订单趋于小型化、封装化，切割得越来越细，几千万的订单多一点，客户需要分期建设，更多的使用国产设备，客户也希望破除国外垄断，受益有竞争的价格，进一步扶持国产厂商的同时，锁定 2-3 家国外供应商以规避风险。公司的高纯工艺的市占率约六分之一至七分之一，还有较大发展空间。目前我们除 Intel、 Global Foundries 外，国内外品牌包括海力士、 三星、台积电、中芯国际、上海华力等均已覆盖。

11、公司目前业务是否受中美贸易战影响 ？

高纯工艺系统设备全部自制，核心零配件需要从国外采购（日韩台美欧） ，目前没有受到贸易战的影响 。贸易战对公司是利好的，因为可以更加重视国产。

12、未来高纯工艺将如何发展，这部分未来对公司的业绩贡献如何？

高纯工艺系统今年目 标新增订单10个亿，为先进位程服务的高纯工艺系统正进入成长期。目前公司服务的客户包括半导体、光伏、面板、食品、 医药等领域，随着先进生产的技术要求提升，有更多的精密产业需要高纯工艺系统辅助生产，公司也在积极开拓下游的客户。订单方面，国外下游客户产业经验比较成熟，客户会做五年到十年的计划，订单量每年平均释放； 国内的公司订单释放较为集中， 整个行业的未来前景还是比较乐观的。

目前，高纯工艺设备年产不到 500 台，启东工厂产能释放后产能有望达到现有产量的 4-5 倍。产值不好估算，因为高纯工艺是一个整体的系统，还有很多耗材、零配件、软件等。 其中管材部分需要外购，也有新莱应材国产替代，目前大部分都已经采用国产替代，小部分需要进口，主要还是根据客户要求。

13、 请谈谈公司收购波汇科技的情况？

波汇科技是光纤感测技术领域为数不多的具有垂直集成能力的供应商。 2018 年 6 月公司发布非公开发行预案， 拟募集4. 3亿元用于收购波汇科技和 支持在建项目，三年扣非业绩承诺 3200 万元 、4600 万元 、6600 万元，若收购完成将大大丰厚公司业绩。至纯科技可以利用光感器系统对高纯工艺系统及工艺制程设备中的温度、压力、溶液浓度、液体泄漏、气体浓度实施精准地监控，结合智能算法，加强对生产线生产状态信息的实时采集和数据分析，进行智能决策，提升生产效率。本次交易将有利于发挥业务协同效应，提升上市公司产品价值，有效提升上市公司的产品竞争力和市场空间

14、 波汇科技的业绩承诺是否偏高？

波汇的业绩承诺较高，但公司对其业绩实现还是很有信心的。今年半年报波汇就有 7000 多万的新增订单，客户主要是国家电网、中石油 、中石化这类的中字头企业，波汇业务性质与我们类似，通常订单集中在下半年确认， 预计波汇能够如约完成业绩承诺。

15、从中报来看，资金面偏紧张，主要是什么原因 ？

报表上来看资金面偏紧张，存货 4 个多亿， 由于在手订单去年新增6. 79 亿，今年上半年新增 5. 47 亿，加起来 12 个亿，除去确认收入部分，目前存货规模是正常量。公司上亿元的大规模订单收入确认周期至少要一年半到两年，千万级别的订单也要大半年的确认周期。大订单都是我们上市以后，有融资渠道以后才取得的。我们在客户竞标时，目前也都是在和国外厂商竞争，国内的厂商鲜有资本和技术实力进入这个市场。

16、公司实施股权激励的成本对公司利润的影响情况如何？

公司股权激励是去年 7 月份开始实施的，第一期的预留部分包括湿法事业部团队的少数人员。股权激励的考核指标是扣非后的净利润。激励费用对上半年下半年利润的影响均为 500 万左右。根据股权激励的要求，今年需实现扣非后净利润 7000 万可实施第二期解锁。