长江存储迎来首台光刻机用于生产14nm晶圆
消息来源:baojiabao.com 作者: 发布时间：2024-06-01
中芯国际花1.2亿美元，从荷兰ASML买到国内第一台EUV极紫外光刻机的消息振奋人心，极紫外光刻机对于于7nm制程工艺芯片的生产来说至关重要，三星在去年就购买了10台的极紫外光刻机。
除了中芯国际购买到EUV光科技之外，最新报道称国内的晶圆厂商长江存储迎来了第一台光刻机，价格为7200万美元(约合4.6亿人民币)，为国产固态硬盘制造提供了极大帮助。
长江存储购买到的光刻机同样来自荷兰ASML公司，采用波长为193nm的深紫外光，采用沉浸式设计，可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆。目前，该机已经运抵武汉天河机场，相关入境手续办理完毕后，即可运至长江存储的工厂。后续，长江存储还会引入更多光刻机。
2016年底，世界级的国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设，2017年9月底提前封顶，2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。
目前，长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产，不少产业链企业都拿到了样片测试，预计今年第四季度量产。同时，长江存储还在推进64层堆叠3D闪存，力争2019年底实现规模量产，与世界领先水平差距缩短到2年之内。
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