晶瑞股份i线光刻胶已通过中芯国际上线测试
消息来源:baojiabao.com 作者: 发布时间：2024-05-04
全文字数：374阅读时间：2分钟
8月6日，晶瑞股份在互动平台上表示，公司的i线光刻胶已通过中芯国际上线测试，公司的高纯双氧水已在中芯国际产线测试。
文｜Lee
校对｜尔目
图源｜网络
集微网消息，8月6日，晶瑞股份在互动平台上表示，公司的i线光刻胶已通过中芯国际上线测试，公司的高纯双氧水已在中芯国际产线测试。
晶瑞股份完成了248nm深紫外光刻胶成膜树脂和配胶的中试技术研究，研发的248nm深紫外光刻胶分辨率达到了0.25~0.13μm的技术要求，建成了中试示范线。
此外，晶瑞股份子公司苏州瑞红在国内率先实现目前集成电路芯片制造领域大量使用的核心光刻胶的量产，可以实现0.35μm的分辨率，在业内建立了较高技术声誉。
据悉，晶瑞股份是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技术企业，主要生产四大类微电子化学品，应用到五大下游行业：主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料和锂电池粘结剂四大类微电子化学品，广泛应用于半导体、光伏太阳能电池、LED、平板显示和锂电池等五大新兴行业，具体应用到下游电子信息产品的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等工艺环节。
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