国内唯一拥有ASML曝光机的光刻胶企业 科华微电子获1.7亿元投资
报价宝综合消息国内唯一拥有ASML曝光机的光刻胶企业 科华微电子获1.7亿元投资
集微网讯息（文/春夏）近日，据沃衍资本官方讯息，北京科华微电子材料有限公司（以下简称“科华微电子”）获得1.7亿元的投资，投资方为沃衍资本、江苏盛世投资、紫荆资本、深圳市投控通产新材料创业投资企业、四川润资、北京高盟新材料等投资机构。
天眼查显示，此前，科华微电子也曾获得北工投资、诚和创投、南大光电、同华投资的数轮融资。
（图片来源：天眼查）
科华微电子成立于2004年8月，是集光刻胶研发、生产、检测、销售于一体的中外合资企业，也是国内唯一一家拥有高档光刻胶自主研发及生产实力的国家级高新技术企业。
据科华微电子官网介绍，该公司拥有中高档光刻胶生产基地：2005年，建成百吨级环化橡胶系紫外负性光刻胶和千吨级负性光刻胶配套试剂生产线；2009年5月，建成高档G/I线正胶生产线（500 吨/年）和正胶配套试剂生产线（1000 吨/年）；2012年12月，科华微电子建成248nm光刻胶生产线。
同时，科华微电子还是中芯国际、华润上华、杭州士兰微、吉林华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等客户的稳定合作伙伴。
此外，沃衍资本讯息显示，科华微电子还是目前国内唯一拥有荷兰ASML曝光机的光刻胶公司，其最小分辨率可达0.11um。通过与客户晶圆厂同样的检测装置配置，实现了上下游产品检测的无缝对接。（校对/小如）
