中国电科48所第三代半导体装备项目获国家科技部重点专项立项
消息来源:baojiabao.com 作者: 发布时间：2024-05-17
近日，中国电科48所第三代半导体设备研发取得重大进展，率先申报"大型超高真空分子束外延技术及设备"获得国家科技部项目，获得国家科技部项目"高性能制造技术和重大设备"重点专项立项。
分子束外延（MBE）设备是先进材料和芯片制造的核心"母机"。根据中国的需要和行业的趋势，电科可以聚焦离子束、分子束、电子束"三束"技术，不断推进半导体设备核心技术的研发和产业化，开发了4英寸、6英寸模型并实现了应用，为了开发大尺寸MBE设备奠定了坚实的技术基础。
本项目将由48所联合国内大学、研究所和专业公司共同解决，利用48所技术优势，充分发挥国家第三代半导体技术创新中心（湖南）平台的作用，突破若干关键核心技术和技术问题，实现中国MBE技术和设备的跨越式发展提供了有力撑。
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