中科大与中芯国际在光刻工艺取得重要进展
消息来源:baojiabao.com 作者: 发布时间：2026-08-06
报价宝综合消息中科大与中芯国际在光刻工艺取得重要进展
2018-06-08 01:32:00
近日，中国科学院大学微电子学院与中芯国际集成电路制造有限公司在产学研合作中取得新进展，目前该成果已在国际光刻领域期刊Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS发表......查看全文请点击下方“了解更多”
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