媲美光学光刻，日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率
消息来源:baojiabao.com 作者: 发布时间：2024-05-06
报价宝综合消息媲美光学光刻，日本学者紫外硬化纳米压印实现 10 纳米以下分辨率
东京理科大学（TUS）学者日前在纳米压印技术研究上取得突破，实现了紫外硬化纳米压印（UV-NIL）创建 10 纳米以下分辨率形貌的突破。
UV-NIL 技术由于不需要高温高压条件，是一种备受瞩目的纳米压印技术方向，具有低成本制备媲美光学光刻质量图形的潜力，但此前受制于对光刻胶材料原子尺度特性的理解，难以实现小于 10 纳米分辨率，而 TUS 学者 Tadashi Ando 带领的团队基于对分子动力学模拟，阐明了光刻胶分子成分与压印过程的作用机制，发现并验证了适用于 UV-NIL 工艺的光刻胶材料。
Ando 表示，该团队研究成果可为未来选择与设计优化光刻胶材料提供指导，最终实现 10 纳米以下分辨率 UV-NIL 工艺的实用化。
2022-09-13 17:11:41相关文章
美国法院裁定阿里须为Squishmallows玩具侵权案答辩2023-12-28 19:59:34
小米汽车传员工3700人 雷军称小米汽车不可能卖9万92023-12-28 19:41:57
国家新闻出版署:认真研究《网络游戏管理办法(草桉徵求意见稿)》关切 实行前进一步完善2023-12-28 19:14:56
天猫新规可以无条件申请“仅退款”了？淘宝天猫又离狗多多零元购近了一步2023-12-28 18:57:55
印度以打击金融犯罪为由逮捕了两名 vivo 高管2023-12-26 16:49:01
在国外微信收不到国内信息？微信和WeChat将被拆分2023-12-15 10:40:15
苹果iPhone15 系列手机发布最新消息 预计上市发布时间9月2023-08-06 23:21:02
华为将发布鸿蒙HarmonyOS4操作系统 功能五大升级支持设备清单2023-08-06 23:17:37
整治自媒体网红账号 400万粉丝网红发布擦边视频被无限期封禁2023-07-12 09:56:09
网传微信文件传输助手是真人是真的吗?微信官方回应2023-06-27 15:53:32
电信移动送手机成了“信用购”？你上了运营商的贷款套路了吗？2023-06-12 17:18:55
中国电信广东地区崩了无信号 客服回应已在核实处理2023-06-08 15:39:04
- 消息称小米新能源汽车价格表正讨论定价区间：双版本不同配置，高配或超 35 万元
2023-03-06 12:56:03
- 华为因制裁被传或分拆剥离手机业务? 内部人士回应:可能性不大.
2023-03-05 23:26:41
- OPPO正式发布安第斯智能云，让终端更智能
2023-02-24 16:02:27
- 华为与OPPO签订全球专利交叉许可协议 包括5G蜂窝通信专利
2023-02-24 16:02:26
- 老蛙将推MINI镜头新品：目前未知具体规格 官宣将于12月20日发布
2023-02-24 16:02:26
- 首发全新35mm定制光学系统 努比亚Z50性能同样强悍
2023-02-24 16:02:25
- Redmi K60屏幕细节曝光：全系标配2K护眼柔性直屏+5000mAh大容量电池
2023-02-24 16:02:25
- OPPO Find N2今天发 合金金属折叠屏更轻了
2023-02-24 16:02:24
